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电子元器件形貌测量

电子元器件形貌测量

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电子元器件形貌测量

所属分类:
电子元件
扫描电子元件表面三维形貌,提取profile测量其表面几个位置的段差和粗糙度
产品编号
产品描述
参数

测量要求
扫描电子元件表面三维形貌,提取profile测量其表面几个位置的段差和粗糙度

 

主要特点概览
1.非接触式测量,一体化设计

2.三维形貌扫描,多功能数据处理
3.适用于各种材料的精确测量

4.使用简单,装拆方便

5.扫描速度快,定位精度高

6.±0.5到±1μm重复精度保证

7.稳定性高,抗干扰能力强

 

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测量结果
每个部位的测量值基本接近于标准值

 

解决现阶段测量装置存在的问题

1.对测量材料有一定要求
2.接触式测量,对测量材料有损坏
3.测量范围小,位置不确定,测定困难
4.测量速度慢、精度低,测量误差大

5.结构复杂,成本高

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